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英福康检漏知识小课堂——检漏方法大盘点,孰优孰劣一较高低

日期:2019-09-16 15:46
浏览次数:988
摘要: 2017-11-01 INFICON英福康 工业中常见的泄漏检测方法有 水检测试法 压降/压差测试法 氢气测试法 氦气泄漏测试 水检测试法: 该方法是将充满气的部件放入水中,看气泡出来。 在泄漏0.06sccm下,每秒在理想的情况下能够产生一个泡。现实当中,气泡不能够很简单的离开元件表面,所以这种检漏方法一般只能到达0.6sccm.限制了该方法的工业应用。 压降/压差测试法: 工业中目前普遍采用的是压力衰减模...

2017-11-01 INFICON英福康

工业中常见的泄漏检测方法有

 

 水检测试法

 压降/压差测试法

 氢气测试法 

 氦气泄漏测试

 

水检测试法:

该方法是将充满气的部件放入水中,看气泡出来。

 

在泄漏0.06sccm下,每秒在理想的情况下能够产生一个泡。现实当中,气泡不能够很简单的离开元件表面,所以这种检漏方法一般只能到达0.6sccm.限制了该方法的工业应用。

 

压降/压差测试法:

工业中目前普遍采用的是压力衰减模式,测试工件内充入规定的测试压力的空气或者氮气,经过一段时间的稳定,测试压力的下降,根据产品的容积计算出泄漏流量,计算公式如下:

压力泄漏测试法,有以下因素干扰:

√ 温度问题

√ 不适用于柔性测试样本

 

常压腔氦或氢累积泄漏检测法:

方法是在非真空状态下通过简单累积室进行的。与空气测试不同,INFICON 累积法的测试结果不受温度或湿度的影响,产生极其可靠的测试结果,具有很高的可重复性。

√ 常压下的检漏技术

√ 简易、低成本累积腔体

√ 检漏精度到达10-5mbar.l/s

 

真空箱氦泄漏检测法:

产品工件充入对应的检测压力,外部腔体抽空,泄漏出来的氦气被检漏仪抓取,检测出泄漏量。

氦或氢吸枪泄漏检测法:

使用示踪气体的方法:吸枪法

 总是由内至外

 远距离高速度的高吸气气体流量

 适用于定位漏率点

 或已知道漏率大概位置

 

各种方法检测精度比较


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